Optimalisatie van ultrasone processen in MESA+ cleanroom

    MesaPlusIn samenwerking met het MESA+ Instituut voor Nanotechnologie van de Universiteit Twente werkt BuBclean aan de verbetering van de ultrasone apparatuur in het NanoLab. De processen die wafers ondergaan in de ultrasone baden geven wisselende resultaten, en inzicht in de oorzaak hiervan is gewenst.

     

    Het doel van de werkzaamheden is het karakteriseren en verbeteren van de ultrasone apparatuur voor wafers. Aan de hand van karakterisatiemetingen, zoals hieronder, wordt bepaald hoe goed de baden nog werken, waar ze het meest effectief zijn en wat de invloed van containers is op de cavitatie.

    Bovenaanzicht van een ultrasoon bad met daarin een container met twee wafers. De blauwe kleur geeft de locatie van cavitatie aan.

    Met behulp van cleaning indicators wordt onderzocht hoe effectief de baden
    reinigen onder verschillende omstandigheden (containers, chemicaliën, etc.).

    De wafers zijn uiteindelijk al dan niet gestructureerd en moeten ontdaan worden van organische en metaalverontreinigingen, zoals in metal lift-off processen en na Chemo-Mechanical Polishing (CMP) of dicen/breken van wafers. Voor dat laatste proces hebben we uitgebreide metingen gedaan naar het ultrasoon verwijderen van silicium deeltjes, gemeten met een particle counter.

    Meetresultaat van een particle counter na het handmatig vervuilen van een 4" wafer met silicium-deeltjes. Door van dezelfde wafer een scan te maken na een reinigingsstap, kan de effectiviteit van de reiniging worden gemeten.

    Meetresultaat van een particle counter na het handmatig vervuilen van een 4″ wafer met silicium-deeltjes. Deeltjes zijn automatisch geanalyseerd, geteld en gesorteerd in 5 categorieën deeltjesgrootten. Door van dezelfde wafer een scan te maken na een reinigingsstap, kan de effectiviteit van de reiniging worden gemeten.

    De metingen hebben geresulteerd in een aantal adviezen om goed, snel en reproduceerbaar wafers te kunnen behandelen, en bij voorkeur ook cross-contaminatie te verminderen. Hiervoor zijn protocollen voor de gebruikers van de cleanrooms beschikbaar gemaakt en zullen ze worden geïnformeerd middels een colloquium.

     

    Dit project is mede mogelijk gemaakt door de Provincie Overijssel.

    mede_mogelijk_gemaakt-door-breed-zw_a4